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SCREEN desarrolla el sistema de limpieza SS-3300S tipo cepillado para obleas individuales con productividad líder en la industria

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SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN SPE, presidente: Masato Goto), una empresa de SCREEN Holdings Group (TOKYO: 7735), ha finalizado el desarrollo de su sistema de limpieza SS-3300S tipo cepillado1 para obleas individuales. El sistema SS-3300S brinda un alto desempeño estable a velocidades de procesamiento de hasta 1000 obleas por hora (wafers per hour, wph),2 lo que le permite alcanzar una productividad líder en el mercado. Las ventas del sistema comenzarán en diciembre.

El mercado de centros de datos se ha expandido considerablemente en los últimos años, impulsado por el aumento continuo del tráfico de datos requerido para actividades como el trabajo remoto, el aprendizaje en línea y la transmisión por secuencias de video (streaming). Al mismo tiempo, la rápida adopción de teléfonos inteligentes compatibles con 5G y la infraestructura de internet de las cosas (Internet of Things, IoT), principalmente integrada a vehículos y aplicaciones industriales, ha creado una demanda cada vez mayor de semiconductores sofisticados necesarios en estos y otros mercados de avanzada.

Como respuesta, los fabricantes de semiconductores han mejorado constantemente la miniaturización e integración de los circuitos para circuitos integrados (Integrated Circuits, IC) lógicos y de memoria de avanzada, lo que a su vez provocó una necesidad aún mayor de eliminación de partículas microscópicas durante los procesos de fabricación de los semiconductores. Más específicamente, se ha creado una demanda cada vez mayor de sistemas de limpieza de tipo cepillado para obleas individuales de gran productividad que puedan proporcionar un nivel más alto de desempeño de limpieza, además de capacidades de procesamiento más estables.

Con base en estas tendencias, SCREEN SPE ha desarrollado el sistema SS-3300S, un sistema de limpieza de tipo cepillado para obleas individuales que brinda productividad líder en la industria. El sistema SS-3300S hereda la misma confiabilidad, ampliamente elogiada, que ya ha permitido al SS-3200 convertirse de hecho en la norma de la industria en este campo, con más de 500 sistemas enviados a todo el mundo. El sistema SS-3300S también permite seguir utilizando exactamente las mismas condiciones de procesamiento que las desarrolladas para el SS-3200, lo que garantiza la introducción sin dificultades de un sistema nuevo.

Por primera vez en la industria3 para un sistema de tipo cepillado, el SS-3300S viene equipado con una plataforma nueva que permite la instalación de hasta 16 cámaras. Además, un nuevo sistema de transporte dual mejora espectacularmente el volumen de producción con relación al volumen en planta y ayuda al SS-3300S a alcanzar el nivel más alto de la industria de capacidad práctica de procesamiento: hasta 1000 wph (un aumento del 25 % en comparación con los modelos convencionales). De forma similar, el sistema de control rediseñado significa que el SS-3300S está listo para IoT y conexiones entre sistemas, como lo exige la transición actual a las fábricas inteligentes.

1. Método en el que las obleas se limpian físicamente utilizando cepillos suaves y agua purificada.

2. Rendimiento pico durante el funcionamiento continuo con la misma fórmula de flujo.

3. Basado en investigaciones internas de SCREEN.

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